Halbleiterindustrie
Der seit Jahrzehnten ungebrochene Bedarf an Halbleitern setzt sich noch immer rasant fort. Getragen unter anderem von der imposanten Entwicklung im Bereich der digitalen Fertigungsautomation und der hohen Nachfrage nach integrierten Schaltungen, sehen sich Waferhersteller gezwungen, immer größere Wafer zu produzieren. Das Voranschreiten dieser Entwicklung setzt gleichzeitig die Herstellung immer größerer Waferöfen und Prozesskammern voraus.
Neben der Lieferung von großvolumigen Quarzrohren durch Raesch Quarz (Germany) beliefert Raesch die Halbleiterindustrie auch mit verschiedenen gefertigten Produkten. Das hochreine Quarzglas hat sich zusammen mit der Laser-CNC-Maschine von Raesch als eine gewinnbringende Kombination für die Versorgung der Halbleiterindustrie mit Quarzglas-Verbrauchsmaterialien erwiesen.
Prozesszylinder
In der Halbleiterindustrie sind Annealing- und Diffusionsverfahren notwendige Fertigungsschritte zur Waferherstellung. Die Abläufe finden in Quarzglasreaktoren sogenannter Horizontalöfen oder Vertikalöfen statt. Dabei werden die Siliziumscheiben einem Quarzzylinder zugeführt und kontrolliert aufgeheizt. Dieser Prozesszylinder muss exakt auf die Reaktionskammer im Waferofen abgestimmt sein.
Als Quarzglashersteller stellen wir hochreine Resize-Rohre kundenspezifisch und im Zweistufenverfahren her und garantieren damit die perfekte Lösung für jeden Waferproduzenten.
Quarzboote
Zum Transport der Wafer in einen Diffusionsofen oder Oxidationsofen werden sogenannte Silicium-Boote verwendet. Diese Quarzboote stellen besonders hohe Anforderungen an die Reinheit und die Temperaturfestigkeit des Materials aus dem sie gefertigt sind. Für die Herstellung dieser Waferboote werden unter anderem Einzelkomponenten wie Spider und Pins aus Quarzglas benötigt.
In enger Zusammenarbeit mit unseren Kunden entwickeln wir auch komplexe Produkte und individuelle Lösungen.
Quarzglasträger
Bei der Produktion und Veredelung von Wafern hat deren Reinheit oberste Priorität. Das gilt auch für die Materialien, die während der Waferherstellung mit dem Halbleitermaterial in Kontakt kommen, so zum Beispiel Waferträger. Aus Quarzglas gefertigte Stapelsysteme werden unter anderem in Reinsträumen für die Lagerung und den Transport der Wafer genutzt.
